極高真空技術(shù)及其應(yīng)用

真空浸泡后油峰有所增加的事實(shí)表明，從油蒸氣對(duì)容器所造成的污染來(lái)說(shuō)，除泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)中的返流外，在系統(tǒng)沒(méi)有隔離閥的情況下，主要是系統(tǒng)在真空浸泡期間發(fā)生的。因?yàn)檫@時(shí)泵已停止工作，失去了抽氣作用，而系統(tǒng)仍處于真空，原先吸附障板冷面上的大量返流物會(huì)因升溫而解吸，幾乎是毫無(wú)阻礙地返進(jìn)容器重又吸附于器壁上。這樣，在下一次運(yùn)轉(zhuǎn)中，由于污染物的解吸很緩慢，使系統(tǒng)的清潔程度變壞，也大大延長(zhǎng)了抽氣時(shí)間。此外，真空靜置期間，泵液也可能通過(guò)蒸發(fā)、爬移等途徑對(duì)容器壁造成污染。克服這一問(wèn)題的方法除在系統(tǒng)中設(shè)置隔離閥外，簡(jiǎn)便可行的方法是采用充氮保護(hù)。

        通過(guò)實(shí)驗(yàn)研究，得到如下幾點(diǎn)結(jié)論：

        ①由機(jī)械泵和擴(kuò)散泵組成的抽氣系統(tǒng)中，若不采取阱、障板等降低泵液返流措施，擴(kuò)散泵和機(jī)械泵工作液的返流是限制系統(tǒng)極限壓力的主要因素之一。

        ②氟里昂?jiǎn)螌尤俗中握习搴驮O(shè)計(jì)良好的液氮冷阱能有效地降低泵液返流，其捕獲效率分別大于0.9和0.99

        ③烘烤是去除表面污染和降低表面放氣的有效方法。250℃，8h烘烤，結(jié)合障板和阱的效果，能獲得好于3.06×10-8Pa酌真空，剩余氣體中泵液污染物檢測(cè)不到。估計(jì)泵液返流率<7×10 -12g/min．cm/。剩余氣體主要組分是H2（約占78.3%），其次是C、CO和N2。C主要來(lái)自鎢燈絲。

        ④泵液對(duì)容器的污染除泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)外，主要是系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)期間原來(lái)冷凝于阱中的大量冷凝物的解吸，以及真空靜置期間油的蒸發(fā)爬移。在容器與阱間設(shè)有隔離閥的情況下，采用充氮保護(hù)運(yùn)轉(zhuǎn)方法能有效地降低上述污染過(guò)程。

        ⑤真空浸泡是降低表面放氣的簡(jiǎn)便方法，既縮短了抽氣時(shí)間，又提高了極限真空度。

        值得提出的是：用油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)完全能夠獲得既清潔、油污染又小的真空環(huán)境。它有賴于合理的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和正確的運(yùn)轉(zhuǎn)程序兩個(gè)方面。

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